企查查平台信息显示，9月8日，上海微电子装备(集团)股份有限公司日前发生注册资本(金)变更，从17435.993400万人民币增加到26612.4100万人民币，增长幅度达52.6％。

上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)成立于2002年3月，由上海电气控股集团有限公司、上海科技创业投资有限公司等共同持股，主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

上海微电子是我国极少数具有光刻机整机集成研发能力的厂商，光刻机产品注册商标于2006年4月获得国家工商局批准，首台先进封装光刻机产品SSB500/10A 2009年12月交付用户。

2022年2月，上海微电子举行了首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，其主要应用于高端数据中心高性能计算（HPC）和高端AI芯片等高密度异构集成领域。

今年8月份，有媒体报道称，上海微电子在28nm浸没式光刻机的研发上取得重大突破，预计在2023年年底向市场交付国产的第一台SSA/800-10W光刻机设备。

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